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电子显微镜安装环境要求

  电子显微镜对振动和外来杂散磁场的干扰要求比较严格,所以选择安装地点最重要的关注这两个方面,首先要减少外来振动的干扰,电镜实验室应尽量远离电梯间和大型设备,其次为减少外来磁场的干扰,电镜实验室应尽量远离电站和配电间,以及大功率的用电设备。

  电子显微镜安装环境的要求主要有以下几个方面:电镜实验室的空间、电源、温湿度、噪声和防震防磁。

  1. 电镜实验室的空间要求

      电镜实验室的面积是根据机型的大小来决定的,不同型号的电镜有不同的要求,具体型号的电镜平面图可以参考如下所示:

    电镜实验室平面图.png

      实验室的房间内若只用于安装扫描电镜,其房间净面积一般在大于3.5×4m,若带有能谱仪,其面积应增大一些,如3.8×4m,若还带有波谱仪,其面积还应该更大一些,如3.5×5.5mm。

    扫描电镜实验室净高度≥2.6mm,这高度虽然不高,但是为了工作人员视野的舒适感建议实验室的净高度最好在3m左右。

      安装普通透射电镜的房间净面积最小大于4.0×4.5m,房间净高度要≥2.8m;200kV的场发射透射电镜净面积最小≥4.5×5.0m,房间净高度≥3.2m;300KV的场发射透射电镜的实验室的净面积≥5.0×6.0m,房间净高度≥3.8m。

      电镜实验室地面的最大压力应能承受该电镜支撑部位的重力。地面应整洁、浅色调,最好具有防静电功能。吊顶的天花板应平整,不积尘,浅色调,既能保温有能阻燃。



  2. 电子显微镜的电源要求

      为了使电镜的供电系统稳定,建议从配电间接出一条专线到电镜实验室中,作为专供电镜使用的电源。

      多数扫描电镜要求的供电电源:单相交流220V±5%;频率:50±Hz;电流约为30A.

      扫描电镜的整机功耗是根据电镜型号的不同有所差异,多事钨灯丝电镜整机的功耗:电镜主机2.8KW+循环水1.2kW+空压机0.5KW,若还配有能谱仪0.8kW和波谱仪0.7kW,则总功率约为6.0Kw.

      透射电镜的功率比扫描电镜的功耗大,加速电压越高,整机的总功耗也就越大,所配备的冷却循环水的功率也相比扫描电镜要更大。若把房间里的照明,除湿机,离子溅射仪,排气扇,电子干燥柜的能耗全部加到一起,一般扫描电镜的总功率在7.5Kw,设计时考虑的总供电量要大于15kw。,这是不包括空调的功耗,如果条件允许最好能配备UPS电源。


  3. 电镜实验室温湿度


      为了保证电镜和能谱仪、波谱仪的热稳定性,最佳室温应控制在20-25℃之间,而且温度要保持性对稳定,不要有大的集聚变化,既每小时的变化量应<2℃。

      机械真空泵排出的废气有碍于健康,应尽量用管道把废气排出室外,并要加装尾部废气过滤器。另外电镜常会用到氮气,液氮,为了避免实验室内氮气多,建议装一个小的排气扇,既便于保持室内的温湿度,也可以有一定的通风换气量。相对湿度最好控制在40-70%之间,房间内应设置加湿除湿恒湿设备,若湿度大,不仅会影响电镜抽真空的时间,而且还会影响空压机的积水,使电路板的金属连线和继电器触点容易产生氧化和腐蚀,甚至会使显示器受潮,严重的会出现高压部位打火。击穿等;若湿度太小,易造成电路板弯曲、变形,这不仅会导致出现电子线路解除不良,而且还会增大半导体器件的静电损伤率,从而降低电机的整机可靠性。


  4. 电镜实验室防震和防磁


      电镜镜筒底部虽有气囊垫或弹簧垫等减震装置,因其衰减量有限,对外来振动的最大振幅还是有一定要求的。钨灯丝扫描电镜对振动的干扰,一般要求振幅的< 12μm/s,0-30 Hz;<24μm/s,30 Hz以上。场发射扫描电镜和透射电镜对振幅的要求更为严格,不同的厂家和不同型号的电镜对可容许的振幅要求也不完全相同,一般在产品的安装说明中都会有具体的指标和要求。场发射扫描电镜要求振幅< 10 μm/s,0-30 Hz;<20 μm/s,30 Hz以上。当振幅大于生产厂家提出的要求时,应做好防震、减震设计,如添加减震垫。对于电镜而且由于其设备自重大,对震动的要求比较严格,通常是低频对电镜的影响较大,建议添加主动减震台,从而使电镜达到更好的使用性能。

    购买彩票平台   对于扫描电镜的干扰磁场,不同厂家和不同机型的要求时不尽相同,对于钨灯丝扫描电镜,同步:< 3 × 10-7 T; 异步:< 1 × 10-7 T,同样场发射电镜对于干扰磁场的要求比钨灯丝的更为严格,当安装电镜的场所干扰磁场大于厂家所规定的要求时,电镜实验室应配备消磁器,然而消磁器又分为交流消磁器和交直流消磁器,此方面需要根据现场的磁场情况测定来进行选择。

在对于电镜实验室测量方面,我公司可以提供此项服务,包括多点震动测量,磁场测量,噪声测量等,我公司均可以提供完整的解决方案。


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