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半导体行业的主动减震台应用方案

作者:禾早

  以色列ks公司生产的主动减震台主要分为Aris模块化系列和TT平面化系列,Aris系列运用于紧凑的模块化或或或或或产品解决方案,可以支持8台主动减震台模块,其负载能力可以惊人高达4000kg,而主动减震台的尺寸可以做到270×210×75mm,插电即可使用,安装和维护更为方便。TT系列为一个轻量级和更加紧凑的安装平台,具有多种不同载重及尺寸的型号从尺寸较小的TT15,到最常用的TT75和TT150,甚至可以进行产品定制,我们可以达到1000kg的承载能力,然而流线型的外观设计,使它完美无缝的成为精密仪器的一部分,并且它的简单组合不需要后期的维护及调整。

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